某锂硫电池制造商采用伯东KRI 考夫曼射频离子源 RFICP380 辅助溅射沉积制备锂硫电池正极片.
伯东 KRI 射频离子源 RFICP380 技术参数:
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射频离子源型号 |
RFICP380 |
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Discharge 阳极 |
射频 RFICP |
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离子束流 |
>1500 mA |
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离子动能 |
100-1200 V |
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栅极直径 |
30 cm Φ |
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离子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
15-50 sccm |
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通气 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型压力 |
< 0.5m Torr |
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长度 |
39 cm |
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直径 |
59 cm |
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中和器 |
LFN 2000 |
工艺流程:
该正极片的制备在离子束溅射室内进行, 将铝箔作为基片, 将定量的块体硫和块体碳作为靶材.
在开始工艺前, 需要将离子束溅射室抽真空后, 然后利用KRI 射频离子源 RFICP380 将通入的氩气离化为氩离子, 氩离子束以不同的功率交替轰击块体硫和块体碳, 将硫原子和碳原子分别溅射出来, 沉积到铝箔表面, 即获得带有硫碳复合材料的锂硫电池正极片.
KRI 射频离子源 RFICP380 特性:
1. 大面积射频离子源
2. 提供高密度离子束, 满足高工艺需求
3. 采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长, 更适合时间长的工艺要求
4. 离子束流: >1500 mA
5. 离子动能: 100-1200 V
6. 中和器: LFN 2000
7. 采用自动控制器, 一键自动匹配
8. RF Generator 可根据工艺自行选择离子浓度, EX: 1kW or 2kW
9. 离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装
10. 栅极材质钼和石墨, 坚固耐用
11. 通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others
为了给离子束溅射室提供 10-4 Pa真空度, 该制造商采用伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 700抽真空. 其技术参数如下:
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2707-Operating voltage: V DC |
48 (± 5 %) V DC |
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Ar 的压缩比 |
> 1 · 1011 |
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Ar 的抽速 |
665 l/s |
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Ar 的最终转速时的气体流量 |
3.5 hPa l/s | 2.62 Torr l/s | 3.5 mbar l/s |
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H2 的压缩比 |
4 · 105 |
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H2 的抽速 |
555 l/s |
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H2 的最终转速时的气体流量 |
> 14 hPa l/s | > 10.5 Torr l/s | > 14 mbar l/s |
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He 的压缩比 |
3 · 107 |
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He 的抽速 |
655 l/s |
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He 的最终转速时的气体流量 |
10 hPa l/s | 7.5 Torr l/s | 10 mbar l/s |
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I/O 接口 |
RS-485, 远程, Profibus |
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N2 的压缩比 |
> 1 · 1011 |
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N2 的抽速 |
685 l/s |
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N2 的最大预真空 |
11 百帕 |
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N2 的最终转速时的气体流量 |
6.5 hPa l/s | 4.88 Torr l/s | 6.5 mbar l/s |
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不带气镇的最终压力 |
1 · 10-7 百帕 |
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允许冷却水的温度 |
15 – 35 °C 摄氏度 |
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冷却水消耗最小值 |
100 l/h |
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冷却水耗量 |
100 l/h |
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冷却类型, 可选项 |
空气 |
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冷却类型, 标准 |
水 |
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声压水平 |
≤50 dB(A) 分贝 (A) |
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安装方向 |
任何 |
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排气连接 |
G 1/8" |
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接口, 扩展 |
Profibus |
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方位 |
混合动力 |
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最大允许磁场 |
6 mT |
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根据 PNEUROP 的最终压力 |
< 1 · 10-7 百帕 |
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电子驱动单元 |
带有 TC 400 |
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电流最大值 |
8,75 A |
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耗电量 max. |
420 瓦 |
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转速 ± 2 % |
49,200 rpm | 49,200 min-1 |
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转速可变化 |
60 – 100 % |
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运行时间 |
2 分 |
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连接法兰（入口） |
DN 160 ISO-F |
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连接法兰（出口） |
DN 25 ISO-KF/G ¼" |
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重量 |
12.1 千克 |
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防护等级 |
IP54 |
运行结果:
能够精确控制溅射量, 获得混合均匀的硫碳复合材料.
伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.
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