伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM390 技术参数:
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型号 |
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ASM390 |
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检测气体 |
4He, 3He, H2 |
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最小检测漏率 |
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真空模式: 1X10-12 mbar l/s |
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对氦气的抽速 |
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10 l/s |
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前级泵抽速 |
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35 m3/h |
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进气口最大压力 |
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20 mbar |
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无校准的启动时间(20°C) |
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2 min |
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进气口 |
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DN 40 ISO-KF |
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响应时间 |
< 1 s |
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Interface, 选配 |
RS-232, I/O, Ethernet |
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噪音 |
≤ 55 dB (A) |
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重量 |
125 kg |
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尺寸(LxWxH) |
1072 x 455 x 1025 mm |
MOCVD 设备需要检漏:
因为MOCVD生长使用的源是易燃, 易爆, 毒性很大的物质, 并且要生长多组分, 大面积, 薄层和超薄层异质材料. 因此在MOCVD系统的设计思想上, 必须考虑系统密封性. 对于气体的输运系统, 管路和管道的接头等存在泄漏可能的部位需要重点排查, 保证反应系统无泄漏是MOCVD设备组装的关键之一.
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