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伯东 氦质谱检漏仪 ASM340 用于 PECVD 检漏

放大字体  缩小字体 发布日期:2021-03-23 10:59:40    浏览次数:37
导读

某电子材料公司采用伯东Pfeiffer氦质谱检漏仪ASM340对生产设备荷兰TEMPRESS PECVD进行检漏,主要针对进出气管道,焊接处,法兰都位置进行检漏,一般漏率要求在1.0×10-8mbarl/s.氦质谱检漏仪ASM340技术参数:

 某电子材料公司采用伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 对生产设备荷兰 TEMPRESS PECVD 进行检漏,主要针对进出气管道焊接处法兰都位置进行检漏 ,一般漏率要求在 1.0×10-8 mbarl/s.

 

氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:

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型号

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ASM340

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ASM340 D

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ASM340 I

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对氦气的最小检检漏率

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5E-13 Pa m3/s

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5E-13 Pa m3/s

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5E-13 Pa m3/s

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检测模式

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真空模式和吸*****式

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真空模式和吸*****式

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真空模式和吸*****式

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检测气体

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4He, 3He, H2

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4He, 3He, H2

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4He, 3He, H2

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启动时间 min

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3

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3

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3

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对氦气的抽气速度 l/s

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2.5

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2.5

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2.5

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进气口最大压力 hPa

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25

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25

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5

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前级泵抽速 m3/h

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油泵 15

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隔膜泵 3.4

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不含前级泵

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重量 kg

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56

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45

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32

氦质谱检漏仪镀膜机检漏

 

PECVD 检漏原因:

PECVD 工作环境需要两个必要条件低温和真空由于 PECVD 结构复杂组成部分较多各组件通过各种法兰接口连接当长时间运行时可能造成接口或管路松动设备漏气导致真空度抽不下来影响沉积薄膜的质量这时就需要通过检漏来排查漏点常规的检漏如涂肥皂水等方法耗时耗力且精度低容易受操作人员干扰所以利用氦质谱检漏仪的排查方法越来越广泛使用.

 

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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(文/小编)
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