某专门生产光学镀膜机企业,采用伯东 Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM310 镀膜机检漏, 主要对真空室和连接管路进行检漏, 以提高光学镜片的合格率.
便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 技术参数：
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便携式氦质谱检漏仪 |
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ASM 310 |
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对氦气的最小检测漏率 |
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真空模式 5E-13 Pa m3/s ,吸*****式 1E-8 Pa m3/s |
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检测模式 |
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真空模式和吸*****式 |
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氦质谱检漏仪无油前级泵抽速 |
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1.7m3/h |
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检测气体 |
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4He , 3He, H2 |
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响应时间 |
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<1s |
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对氦气的抽气速度 |
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1.1 l/s |
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氦质谱检漏仪进气法兰 |
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DN 25 ISO-KF |
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进气口最大压力 |
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15 hPa |
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通讯接口 |
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RS-232 |
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工作温度 |
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10-40 °C |
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噪音水平 |
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< 45 dB (A) |
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尺寸 |
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350 X 245 X 141 mm |
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重量 |
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21 kg (46 lb) |
镀膜机需要检漏原因:
通常真空室内漏气都是从室壁上的一些接口或部件之前的焊缝中发生, 当抽气系统抽气后使真空室内压强降低, 外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内, 形成真空度降低. 真空度的降低则会降低光学镜片的合格率. 因此日常检漏是必不可少的.
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