氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:
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型号 |
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ASM340 |
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ASM340 D |
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ASM340 I |
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对氦气的最小检检漏率 |
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5E-13 Pa m3/s |
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5E-13 Pa m3/s |
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5E-13 Pa m3/s |
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检测模式 |
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真空模式和吸*****式 |
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真空模式和吸*****式 |
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真空模式和吸*****式 |
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检测气体 |
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4He, 3He, H2 |
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4He, 3He, H2 |
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4He, 3He, H2 |
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启动时间 min |
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3 |
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3 |
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3 |
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对氦气的抽气速度 l/s |
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2.5 |
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2.5 |
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2.5 |
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进气口最大压力 hPa |
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25 |
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25 |
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5 |
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前级泵抽速 m3/h |
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油泵 15 |
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隔膜泵 3.4 |
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不含前级泵 |
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重量 kg |
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56 |
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45 |
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32 |
流量计需要检漏原因：流量计主体是金属外壳, 外壳焊缝和接头部位需要进行检漏, 若漏律值较大会影响测量精度, 因此高端流量计一般采用氦质谱检漏仪进行检漏已提高产品的附加值.
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