氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:
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型号 |
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ASM340 |
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ASM340 D |
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ASM340 I |
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对氦气的最小检检漏率 |
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5E-13 Pa m3/s |
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5E-13 Pa m3/s |
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5E-13 Pa m3/s |
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检测模式 |
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真空模式和吸*****式 |
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真空模式和吸*****式 |
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真空模式和吸*****式 |
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检测气体 |
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4He, 3He, H2 |
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4He, 3He, H2 |
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4He, 3He, H2 |
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启动时间 min |
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3 |
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3 |
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3 |
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对氦气的抽气速度 l/s |
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2.5 |
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2.5 |
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2.5 |
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进气口最大压力 hPa |
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25 |
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25 |
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5 |
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前级泵抽速 m3/h |
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油泵 15 |
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隔膜泵 3.4 |
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不含前级泵 |
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重量 kg |
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56 |
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45 |
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32 |
推荐理由：
1. 客户漏率要求: 1.0x10-10 mbar l/s
2. 整个系统需要清洁无油
CCD 感光元件, Charge-coupled Device, 又称为 CCD 图像传感器, 是一种半导体器件, 能够把光学影像转化为数字信号. 一般应用于数字相机和电子显微镜中.
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