氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:
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型号 |
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ASM340 |
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ASM340 D |
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ASM340 I |
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对氦气的最小检检漏率 |
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5E-13 Pa m3/s |
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5E-13 Pa m3/s |
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5E-13 Pa m3/s |
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检测模式 |
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真空模式和吸*****式 |
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真空模式和吸*****式 |
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真空模式和吸*****式 |
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检测气体 |
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4He, 3He, H2 |
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4He, 3He, H2 |
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4He, 3He, H2 |
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启动时间 min |
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3 |
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3 |
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3 |
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对氦气的抽气速度 l/s |
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2.5 |
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2.5 |
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2.5 |
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进气口最大压力 hPa |
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25 |
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25 |
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5 |
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前级泵抽速 m3/h |
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油泵 15 |
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隔膜泵 3.4 |
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不含前级泵 |
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重量 kg |
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56 |
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45 |
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32 |
流量控制阀 MFC 主要用于对气体的质量流量进行精密测量和控制. 流量控制阀 MFC 在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用.
伯东公司客户主要生产流量控制阀 MFC, 由于产品的特殊性, 对密封性要求特别高, 达 5E-11 Pa m3/s, 选用其他氦质谱检漏仪根本达不到实际生产测量要求, 或者生产效率特别低下, 经过实际论证, 最终确定选用伯东公司德国普发 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340.
若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :
上海伯东 : 罗先生 台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
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