二维码
餐饮加盟网

扫一扫关注

当前位置: 首页 » 行业资讯 » 行业新闻 » 正文

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE 去除印刷电路板污染物

放大字体  缩小字体 发布日期:2020-12-11 15:27:59    浏览次数:28
导读

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J技术参数基片尺寸±5%硅片刻蚀率直接冷却,水冷离子源离子源型号RFICP 射频离子束流100-1200 V栅极直径聚焦, 平行, 散射流量Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他典型压力30 cm直径LFN 2000Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J有效针对所需区域进行蚀刻, 并避免印刷电路板全面性蚀刻产生的导线暴露于空气中发生的短

某印刷电路板制造商采用伯东 Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J 应用于刻蚀印刷电路板局部表面去除污染物.


Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J 技术参数

Φ4 inch X 12片

基片尺寸

Φ4 inch X 12片

Φ5 inch X 10片

Φ6 inch X 8片

均匀性

±5%

硅片刻蚀率

20 nm/min

样品台

直接冷却,水冷

离子源

Φ20cm 考夫曼离子源


Hakuto 离子刻蚀机 20IBE-J 搭配伯东公司代理美国考夫曼博士创立的 KRI考夫曼公司的射频离子源 RFICP220

伯东 KRI 射频离子源 RFICP 220 技术参数:

离子源型号

RFICP 220

Discharge

RFICP 射频

离子束流

>800 mA

离子动能

100-1200 V

栅极直径

20 cm Φ

离子束

聚焦, 平行, 散射

流量

10-40 sccm

通气

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力

< 0.5m Torr

长度

30 cm

直径

41 cm

中和器

LFN 2000


Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J 有效针对所需区域进行蚀刻, 并避免印刷电路板全面性蚀刻产生的导线暴露于空气中发生的短路异常现象.


若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

伯东版权所有, 翻拷必究!

 
(文/小编)
打赏
免责声明
• 
本文为小编原创作品,作者: 小编。欢迎转载,转载请注明原文出处:http://news.cy315.com/show-8511.html 。本文仅代表作者个人观点,本站未对其内容进行核实,请读者仅做参考,如若文中涉及有违公德、触犯法律的内容,一经发现,立即删除,作者需自行承担相应责任。涉及到版权或其他问题,请及时联系我们。
 

本站内容系用户自行发布,其真实性、合法性由发布人负责,cy315.com(柒贰信息网)不提供任何保证,亦不承担任何法律责任.(c)2017-2036 cy315.com b2b电子商务平台、中国B2B行业信息网 SYSTEM All Rights Reserved