3靶等离子溅射仪技术参数
输入功率
110V/220V通用
<2000W(含真空泵)
输出功率
1600VDC
zui大电流50mA
样品室
石英罩：160mmDia.x120mmHeight
加热样品台
一个外径50mm的样品台,可以移动三个位置
基片可以放在样品台上.加热温度500°C
PID控温方式和触摸屏面板，控温精度+/-10°C
zui长溅射时间不可超过5分钟
控制面板
控制面板为PLC，4.3"触摸屏
一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度,电流,靶材位置和基片加热温度
可选
KF25真空接口、卡箍，和600mm长不锈钢波纹管
120L/M旋片式真空泵（包含在仪器内）
不锈钢波纹管与KF-25真空接口相连接
各种高纯度金属靶
需要一个带压力调节器的氩气瓶（这个我们不提供）
进气口
一个精密可调针阀安装在进气口，以实现方便的调节进气量
靶材
标配靶材分别有
金，银，铜靶材:
尺寸:金靶47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
银靶47 mm dia. x 0.5 mm, 1pcs
铜靶47 mm dia. x 2.0 mm, 1pcs
可选靶材点击链接、
Pt,Agtarget,ZinctarhetD
外形尺寸
360mm×350mm×360mm(L×W×H)
净重:50KG
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