氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:
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型号 |
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ASM340 |
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ASM340 D |
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ASM340 I |
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对氦气的最小检检漏率 |
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5E-13 Pa m3/s |
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5E-13 Pa m3/s |
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5E-13 Pa m3/s |
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检测模式 |
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真空模式和吸*****式 |
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真空模式和吸*****式 |
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真空模式和吸*****式 |
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检测气体 |
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4He, 3He, H2 |
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4He, 3He, H2 |
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启动时间 min |
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3 |
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对氦气的抽气速度 l/s |
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2.5 |
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进气口最大压力 hPa |
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25 |
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5 |
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前级泵抽速 m3/h |
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油泵 15 |
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隔膜泵 3.4 |
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不含前级泵 |
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重量 kg |
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56 |
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45 |
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32 |
氦质谱检漏仪 ASM340 优点:
1. 前级泵配备旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h
2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s
3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的最小检检漏率：
真空模式：5E-13 Pa m3/s
吸*****式：5E-10 Pa m3/s 目前业界公认最小漏率
4. 移动式操作面板（有线、无线）
5. 集成SD卡, 方便资料处理
6. 抗破大气、抗震动, 降低由操作失误带来的风险性
7. 丰富的可选配件, 如吸*****、遥控器、小推车、旁路装置、标准漏孔等
8. 检测时间短
待检漏产品:
长晶炉设备需要检漏:
在 CVD 过程中, 将一片薄的金刚石种子 ( 通常是天然的金刚石) 放置在密封室中, 加热到 800摄氏度左右. 然后通入富碳气体 ( 通常是甲烷 ) 和其他气体. 如果密封室或者气体供应系统有漏, 直接影响原子沉积, 导致无法形成钻石或质量不佳.
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