伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱测漏仪 ASM390 技术参数:
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型号 |
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ASM390 |
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检测气体 |
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4He, 3He, H2 |
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最小检测漏率 |
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真空模式: 1X10-12 mbar l/s |
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对氦气的抽速 |
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10 l/s |
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前级泵抽速 |
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35 m3/h |
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进气口最大压力 |
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20 mbar |
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无校准的启动时间(20°C) |
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2 min |
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进气口 |
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DN 40 ISO-KF |
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响应时间 |
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< 1 s |
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Interface, 选配 |
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RS-232, I/O, Ethernet |
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噪音 |
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≤ 55 dB (A) |
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重量 |
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125 kg |
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尺寸(LxWxH) |
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1072 x 455 x 1025 mm |
待检漏产品:
半导体配件-不锈钢管检漏方法工作示意图如下：
移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势:
1. 强大的抽空能力
2. 极短的测试时间
3. 大型彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸
4. 符合人体工学设计, 移动性强
5. 完全符合 Semi S2 标准
若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :
上海伯东 : 罗先生 台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
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