氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:
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型号 |
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ASM340 |
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ASM340 D |
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ASM340 I |
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对氦气的最小检检漏率 |
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5E-13 Pa m3/s |
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5E-13 Pa m3/s |
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5E-13 Pa m3/s |
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检测模式 |
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真空模式和吸*****式 |
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真空模式和吸*****式 |
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真空模式和吸*****式 |
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检测气体 |
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4He, 3He, H2 |
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4He, 3He, H2 |
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4He, 3He, H2 |
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启动时间 min |
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3 |
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3 |
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3 |
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对氦气的抽气速度 l/s |
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2.5 |
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2.5 |
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2.5 |
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进气口最大压力 hPa |
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25 |
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25 |
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5 |
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前级泵抽速 m3/h |
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油泵 15 |
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隔膜泵 3.4 |
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不含前级泵 |
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重量 kg |
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56 |
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45 |
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32 |
镀膜机检漏原因：
镀膜机需要在高真空环境下工作, 真空度的好坏直接影响镀膜的品质. 有时候镀膜机的真空度抽不下来或者真空度不好, 可能是接头松动或者有焊缝出现虚焊.
伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪利用氦气作为示踪气体, 最小漏率小于 5E-13 Pa m3/s, 安全环保, 检漏时不需要停机, 直接在真空泵的旁路接入检漏仪便可以快速高效的完成检测了.
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上海伯东 : 罗先生 台湾伯东 : 王小姐
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