吸*****氦质谱检漏仪 ASM 102 S 技术参数：
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吸*****便携式氦质谱检漏仪 |
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ASM 102 S |
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对氦气的最小检测漏率 |
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1x10-8 Pa m3/s |
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测量范围(氦气) |
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1·10-7 至 1 mbar l/s |
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前级泵 |
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无油干式真空泵 |
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检测气体 |
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4He |
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操作温度 |
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0-45 °C |
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噪音比 |
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< 56 dB (A) |
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尺寸 |
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494 x 456 x 164 mm |
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启动时间 |
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1.5 min |
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检测模式 |
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吸*****检漏 |
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重量 |
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18 kg |
芯片封装, 一旦出现泄漏, 芯片就会失效, 因此检漏工艺在芯片封装检漏至关重要, 吸*****氦质谱检漏仪 ASM 102 S 的最小检漏率 1x10-8 Pa m3/s 完美胜任该工作.
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