氦质谱测漏仪 ASM340D 技术参数：
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型号 |
ASM 340 D |
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对氦气的最小检测漏率 |
5E-13 Pa m3/s |
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检测模式 |
真空模式和吸*****式 |
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检测气体 |
4He, 3He, H2 |
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启动时间 min |
3 |
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对氦气的抽气速度 l/s |
2.5 |
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进气口最大压力 hPa |
25 |
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前级泵抽速 m3/h |
隔膜泵 3.4 |
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重量 kg |
45 |
选择前级泵为干泵的检漏仪 ASM 340 D, 保证清洁无油, 避免对元器件造成污染.
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